廣州層流手術(shù)室凈化設(shè)計(jì)潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣,以排替、稀釋室內(nèi)產(chǎn)生的顆粒污染物來實(shí)現(xiàn)的。為此,測(cè)定潔凈室或潔凈設(shè)施的送風(fēng)量、平均風(fēng)速、送風(fēng)均勻性、氣流流向及流型等項(xiàng)目十分必要。優(yōu)質(zhì)層流手術(shù)室凈化單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此,其送風(fēng)斷面風(fēng)速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風(fēng)速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過程產(chǎn)生的污染物,因此它們是主要關(guān)注的檢測(cè)項(xiàng)目。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物以維持其潔凈度。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),記錄各測(cè)點(diǎn)風(fēng)速的時(shí)間平均值。換氣次數(shù):根據(jù)潔凈室總風(fēng)量除以法凈室的容積求得。
1、吊頂需是專為優(yōu)質(zhì)層流手術(shù)室凈化無塵車間工程設(shè)計(jì)的系統(tǒng),以便于安裝簡(jiǎn)易快速、堅(jiān)固、美觀。有干、濕兩類。干吊頂用于高效過濾風(fēng)機(jī)系統(tǒng),濕系統(tǒng)用于回風(fēng)空調(diào)箱帶高效過濾風(fēng)口系統(tǒng)。2、濕吊頂須用密封膠密封。3、廣州層流手術(shù)室凈化無塵車間工程中的車間墻為鋁合金板材,拆裝靈活。4、提升地板根據(jù)潔凈等級(jí)對(duì)換氣次數(shù)的要求不同,帶孔板的覆蓋率不同。安裝提升地板時(shí),應(yīng)先確定立柱的定位,用專用膠將柱固定在環(huán)氧地面上,并在膠干后測(cè)試其牢固程度。5、所有提升地板內(nèi)管線不可在安裝立柱前施工。
廣州層流手術(shù)室凈化無塵凈化車間的溫濕度主要是依據(jù)您的加工工藝請(qǐng)求來肯定,在滿足加工工藝的條件下,必選應(yīng)該思索人的溫馨感。隨著空氣干凈度請(qǐng)求的進(jìn)步,工藝對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來越高,必需到達(dá)一定的溫濕度等級(jí)。例如在大范圍集成電路消費(fèi)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數(shù)的差請(qǐng)求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就惹起了0.24um線性收縮,所以必需有±0.1度的恒溫,同時(shí)請(qǐng)求濕度值普通較低,由于人出汗以后,對(duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,優(yōu)質(zhì)層流手術(shù)室凈化這種車間不宜超越25度?!穸蛇^高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超越55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,假如發(fā)作在精細(xì)安裝或電路中,就會(huì)惹起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。
優(yōu)質(zhì)層流手術(shù)室凈化無塵車間裝修標(biāo)準(zhǔn)按照國際慣例,無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂層流手術(shù)室凈化設(shè)計(jì)無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí),這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。
廣州層流手術(shù)室凈化無塵凈化車間對(duì)溫濕度的操控決取于其出產(chǎn)技術(shù)。在滿意加工技術(shù)的條件下,還應(yīng)該考慮到人的舒服感。因?yàn)槿顺龊菇窈?,?duì)商品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,層流手術(shù)室凈化設(shè)計(jì)這種車間不宜超越25度。濕度過高發(fā)生的疑問更多。相對(duì)濕度超越55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,假如發(fā)生在精細(xì)設(shè)備或電路中,就會(huì)導(dǎo)致各種事端。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。咱們來看常見無塵車間對(duì)溫濕度有請(qǐng)求的技術(shù)。
在廣州優(yōu)質(zhì)層流手術(shù)室凈化工廠無塵廠房的裝修中,風(fēng)管的選擇至關(guān)重要。不僅要注意其嚴(yán)密性,還需要檢測(cè)風(fēng)管的各種功能。具有良好的耐腐蝕、抗老化等功能。否則,風(fēng)管在后期應(yīng)用中將達(dá)不到要求。它會(huì)影響整個(gè)生產(chǎn)過程,不僅需要注意風(fēng)管的質(zhì)量。數(shù)量上,還留有神風(fēng)管的數(shù)量,這可以有助于防止生產(chǎn)過程中浪費(fèi)的發(fā)生。蘇州昆山無塵車間的裝修,建議優(yōu)質(zhì)層流手術(shù)室凈化無塵車間的位置應(yīng)布置在環(huán)境清潔、人流和物流不通過或少通過的區(qū)域;另外,潔凈廠房高頻風(fēng)向的主導(dǎo)側(cè)有煙囪時(shí),潔凈廠房與煙囪的水平間距不應(yīng)小于煙囪高度的12倍,潔凈廠房與主要交通道路的間距不應(yīng)小于50米。在潔凈廠房周圍進(jìn)行綠化,種植草坪,種植對(duì)大氣含塵量無不良影響的樹木,形成綠化群落。但不得妨礙消防工作。