潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測(cè)定，凈化車間施工通常分為兩個(gè)檔次：一般測(cè)試和綜合測(cè)試。第一個(gè)檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗(yàn)收測(cè)試，第二個(gè)檔次適用于靜態(tài)或動(dòng)態(tài)的綜合性能測(cè)試。這類測(cè)試適用于對(duì)溫度、濕度性能要求比較嚴(yán)格的場(chǎng)合。本檢測(cè)在氣流均勻性檢測(cè)之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進(jìn)行。進(jìn)行這項(xiàng)檢測(cè)時(shí)，空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運(yùn)轉(zhuǎn)，各項(xiàng)狀況已經(jīng)穩(wěn)定。來賓凈化車間每個(gè)濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個(gè)濕度傳感器，并且給傳感器充分的穩(wěn)定時(shí)間。所做測(cè)量應(yīng)適合實(shí)際使用的目的，待傳感器穩(wěn)定之后才開始測(cè)量，測(cè)量時(shí)間不少于5分鐘。

優(yōu)質(zhì)凈化車間無塵車間裝修標(biāo)準(zhǔn)按照國際慣例,無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂凈化車間施工無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí),這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。

防止從相鄰的潔凈度較低區(qū)域向無塵室傳達(dá)污染的首要辦法是：保持高潔凈度區(qū)域有關(guān)于低潔凈度區(qū)域、凈化車間施工低潔凈度區(qū)域有關(guān)于效勞區(qū)域、效勞區(qū)域有關(guān)于室外有一個(gè)適宜的正壓值。這么就可削減由室外向效勞區(qū)域，效勞區(qū)域向低等級(jí)無塵室，低等級(jí)無塵室向高等級(jí)來賓優(yōu)質(zhì)凈化車間無塵室傳達(dá)空氣中的懸浮污染物。正壓值并非越大越好，很多理論研討和實(shí)習(xí)都證實(shí)，人員、物料經(jīng)過門時(shí)，即使門兩邊關(guān)門壓差高達(dá)50Pa~60Pa，仍難肯定防止隨人員、物料向內(nèi)移動(dòng)時(shí)的帶著氣流將污染帶入室內(nèi)。特別是當(dāng)門兩邊存在溫度差時(shí)，門打開后，即使無人走動(dòng)，在開口斷面有些面積上也存在逆向氣流，帶入空氣的污染物。

來賓優(yōu)質(zhì)凈化車間清潔潔凈室內(nèi)的墻時(shí)應(yīng)使用潔凈室無塵布，使用已獲批準(zhǔn)的潔凈室專用去污劑，每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱，并及時(shí)清走。每塊地板都要吸塵，每次交接班時(shí)，凈化車間施工清潔潔凈室的地面應(yīng)使用專用拖把。在潔凈室里吸塵應(yīng)使用帶有高效過濾器的專用真空吸塵器。所有的門都需要檢查并擦干吸完地以后再擦地。一周擦一次墻面。架空地板下也要吸塵及擦拭。工作時(shí)一定要記住，永遠(yuǎn)是由上往下擦，從離門最遠(yuǎn)的地方向門的方向擦。潔凈三個(gè)月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱。