武鳴gmp車間凈化無塵凈化車間的溫濕度主要是依據(jù)您的加工工藝請(qǐng)求來肯定,在滿足加工工藝的條件下,必選應(yīng)該思索人的溫馨感。隨著空氣干凈度請(qǐng)求的進(jìn)步,工藝對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來越高,必需到達(dá)一定的溫濕度等級(jí)。例如在大范圍集成電路消費(fèi)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數(shù)的差請(qǐng)求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就惹起了0.24um線性收縮,所以必需有±0.1度的恒溫,同時(shí)請(qǐng)求濕度值普通較低,由于人出汗以后,對(duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,正規(guī)gmp車間凈化這種車間不宜超越25度。 濕渡過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超越55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,假如發(fā)作在精細(xì)安裝或電路中,就會(huì)惹起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。
咱們有必要在規(guī)劃和選用資料時(shí)就選用不易發(fā)作靜電,或發(fā)作靜電能敏捷泄漏的資料。正規(guī)gmp車間凈化在以往的規(guī)劃中咱們?yōu)榱耸轨o電電荷有敏捷逃逸的通路,通常只重視對(duì)地板的效果,即選用防靜電地板來消除靜電。并且只把體系電阻值約束在105—108歐姆之間來作為衡量防靜電的規(guī)范,如今看來是遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠的。如今歐美、日本等國家在規(guī)劃潔凈室時(shí)現(xiàn)已不局限于防靜電地板了,對(duì)武鳴gmp車間凈化潔凈室間隔、墻面及潔凈的構(gòu)造體系等都思考在內(nèi)。如今在規(guī)劃時(shí)咱們也會(huì)充沛思考到防靜電的請(qǐng)求,如選用噴涂靜電涂料、防靜電蠟等來作為輔佐辦法或彌補(bǔ)辦法來戰(zhàn)勝靜電。使?jié)崈羰也话l(fā)作或少發(fā)作靜電。
武鳴gmp車間凈化無塵車間的圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修材料宜選用氣密性良好,同時(shí)在溫度、濕度等變化時(shí),本身變形小的材料;墻壁和頂棚表面應(yīng)光潔平整、不起灰、不落塵、耐腐蝕、耐沖擊、易清洗。為了使無塵車間的建筑表面盡量少積灰、易清掃,應(yīng)在建筑構(gòu)造上避免或減少凹凸面,墻面與地面、墻面與頂棚、墻面與墻面的相接處也不宜做成一般的直角,宜做成半徑大于或等于50mm的圓角。正規(guī)gmp車間凈化壁面涂層的色彩要和諧、雅致、素淡,以便于顯現(xiàn)壁面上的污染物。同樣,地面也應(yīng)做到平整、無縫隙、耐磨、耐腐蝕、耐沖擊、不積聚靜電、易除塵清洗。
正規(guī)gmp車間凈化無塵車間裝修標(biāo)準(zhǔn)按照國際慣例,無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂gmp車間凈化工程無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí),這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。