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無(wú)塵凈化車間中對(duì)溫濕度的控制要求

2021-01-11 11:47:10

無(wú)塵凈化車間是溫濕度主要是根據(jù)產(chǎn)品需求的生產(chǎn)工藝來(lái)確定,而且在滿足產(chǎn)品工藝要求的同時(shí)還要考慮到工作人員的舒適度。隨著無(wú)塵凈化車間空氣潔凈等級(jí)的提升,各類工藝對(duì)于溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)格。

無(wú)塵凈化車間

總得來(lái)說,產(chǎn)品的加工精度越高,對(duì)于溫濕度波動(dòng)的要求也就越高,要求溫濕度波動(dòng)的范圍也就越小。例如在一些大規(guī)模集成電路的光刻曝光工藝中,直接只有一百微米的材料,如果環(huán)境溫度與要求直接相差了一度,就會(huì)造成材料零點(diǎn)幾微米的偏差,在這種高精度要求的無(wú)塵凈化車間中就是非常嚴(yán)重的生產(chǎn)事故。所以,這種工藝甚至是需求溫差保持在正負(fù)零點(diǎn)五攝氏度之間的。


另外,一些高精度的產(chǎn)品對(duì)于濕度的要求也非常嚴(yán)格。在一些電子元件的生產(chǎn)中,空氣的潮濕會(huì)直接影響到芯片的質(zhì)量。而在大部分的硅類產(chǎn)品無(wú)塵凈化車間濕度的范圍被嚴(yán)格規(guī)定在了30-45%之間。


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